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電子光學

東莞電子光學萬級無塵車間工程案例

作者: 東莞市卓為空調機電設備有限公司發表時間:2017-08-08 10:45:51瀏覽量:2399

  一、萬級凈化概括:
  萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣,將室內的污染逐漸排出,來實現潔凈效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動,拌有回流或渦流,不同等級的無塵室,主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現.。 目前有十萬級和三十萬級兩種標準。

  二、萬級凈化潔凈室:
  潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。

  「潔凈室」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

  三、萬級凈化作用
  潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為「潔凈室」。
  世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
  209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,潔凈室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
  美國聯邦標準FS 209D都以英制每立方英呎為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級為Class 1,最差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方,取其指數而得。

  四、萬級凈化潔凈室分類:

  (1)、工業潔凈室——以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。 它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
  (2)、生物潔凈室,主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為; A、 一般生物潔凈室,主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕,內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業潔凈室。例:制藥工業、醫院(手術室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。B、 生物學安全潔凈室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例:細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)、

  五、萬級凈化亂流潔凈室的原理和特性:
  1、定義:亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室.
  2、原理:亂流潔凈室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現潔凈的(亂流潔凈室一般設計在千級以上至30萬級凈化級別)。
  3、特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)
  (1)、自凈時間:是指潔凈室按設計換氣次數開始送風到潔凈室,室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時間。 1,000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計算)
  (2)、換氣次數(按上述自凈時間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小時 (規范:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規范:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規范:15次/小時)

  六、萬級凈化潔凈室換氣次數估算:

  千級潔凈室不小于50次/h;
  萬級潔凈室不小于25次/h;
  十萬級潔凈室不小于15次/h。
  萬級換氣次數[1] ≥25次/小時(一般取27-28);十萬級換氣次數≥15次/小時(一般17-18)
  但是不能盲目按照換氣次數進行設計風量,要考慮房間及工藝余熱、余濕。

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